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MA300 图形电镀系列干膜光阻剂
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- 产品特性
MA300 图形电镀系列干膜光阻剂是一种具备自动检测能力、高效率、全水溶性的干膜光阻剂，可使用于内层和外层的应用。本产品在酸性蚀刻、盖孔与蚀刻和酸性电镀制程中均有突出表现。
特色及优点
高分辨率 -1-2 mil 线宽/线距
优质的贴合度-高良率
高附着力-高良率
优质的图像显示对比，具备自动光学检测能力
特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2
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项目 |
单位 |
MA312 |
MA315 |
备注 |
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厚度 |
μm |
30 |
38 |
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感度*1 |
mj/cm2 |
25 |
30 |
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最短显影时间 |
sec. |
20 |
25 |
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附着力*1*2(L/S=X/250) |
μm |
25 |
30 |
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解析度*1*2（L/S=X/X） |
μm |
25 |
30 |
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盖孔孔径 |
μm |
// |
6.5 |
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*2:1wt%Na2CO3,30℃，最短显影时间x2
*3:分辨率、解析度以及显影后图像。
