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MP500 选化沉金系列干膜光阻剂
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- 产品特性
MP500 选化沉金系列干膜光阻剂特别针对高解析度线路，具有优秀的耐碱性蚀刻性能。MP515和MP520可几乎应用于所有电镀工艺，包括镀金。
特色及优点
极好的耐碱性蚀刻性能
高解析度
较好地应用于图形电镀较好地应用于直接电镀
用于沉金电镀工艺过程
盖孔能力优异
镀金性能可达100μin
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项目 |
单位 |
MP515 |
MP520 |
备注 |
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厚度 |
μm |
40 |
50 |
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感度*1 |
mj/cm2 |
70 |
90 |
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最短显影时间 |
sec. |
45 |
55 |
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附着力*1*2(L/S=X/250) |
μm |
40 |
50 |
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解析度*1*2（L/S=X/X） |
μm |
30 |
40 |
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盖孔孔径 |
μm |
6.0 |
7.0 |
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*2:1wt%Na2CO3,30℃，最短显影时间x2
*3:分辨率、解析度以及显影后图像。
